Pfeiffer RVC 300 可以控制真空腔室内部气体的压力在规定的范围内,Pfeiffer RVC 300 , gas dosing system control unit, 自带 LCD
Display 及操作按键,配合Pfeiffer EVR 116 或 RME 005A 调节阀 及 Pfeiffer Vacuum Gauge可以组合为一个完整的流量调整闭环系统,
可以轻松实现 真空腔室压力稳定在规定的范围。
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 订货号为 PF I00 792
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 的技术参数及机械尺寸如下:
Pfeiffer RVC 300 的控制原理如下图:
在上图中, 我们可以看到 Pfeiffer RVC 300- Pfeiffer gas dosing system control unit 可以直接连接 Pfeiffer Pressure Sensor 来做负反馈,
根据真空计读出的压力值来不断调节阀门开关的大小 从而控制真空腔室的压力稳定在设定值。
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 可以连接的真空计有:
Pfeiffer APR 250/ Pfeiffer APR 260
Pfeiffer CMR361/ Pfeiffer CMR 271/ Pfeiffer CMR 272 /Pfeiffer CMR 273/ Pfeiffer CMR274/ CMR 275
Pfeiffer IKR 251
Pfeiffer PKR251
Pfeiffer TPR 280 等等
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 的操作面板图片如下:
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 内部连接说明如下:
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 对应连接 调节阀 Pfeiffer EVR 116 图片如下:
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 配合 Pfeiffer EVR 116 可以调节的范围如下:
Gas Flow min. Controllable : 5*10-6mbar*L/s
Gas Flow max. Controllable : 1.25*10+3mbar*L/s